英國RENISHAW光柵測量系統:
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Renishaw提供品種繁多的緊湊型光柵,以滿足不同行業的需求。雷尼紹光柵系統的成功開發是基于其**的非接觸式光學結構,這種設計在實現**測量、高分辨率和零機械磁滯的同時,有很強的抗污能力,如灰塵、輕度油漬和劃痕而不影響信號的完整性。這些都確保用戶的機器運行可靠而不需過多的維護。不僅如此,Renishaw的光柵系統還以其易于安裝響譽業界。鍍金的光柵尺可被靈活地剪至所需長度以適應不同的軸長(*長可達70米),其背面自粘的特別設計使得安裝時無需鉆孔和螺釘壓緊,從而節省了時間和成本。所有讀數頭和接口都有獲得**的LED安裝狀態指示燈監控,而無需示波器及其它復雜的安裝監控裝置,這樣也節省了時間和成本。
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Renishaw光柵測量系統可以應用在三坐標測量、計量檢測、裝配測試、運動控制、電子設備、半導體制造和測量、醫療設備、印刷掃描、儀器設備、超高精度機器和裝置等高精度高要求領域。
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產品分類:
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RG2 直線光柵系列
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RG4 直線光柵系列
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RESR 圓光柵系列
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一、RG2 直線光柵系列
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20 um直線光柵-技術
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20 um 柵距的 RG2 系列光柵測量性能優異、可靠性強、易于使用,廣泛應用于各種測量場合。分辨率從 5 μm 到 10 nm,速度可達 8 m/s。
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技術指標
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RG2 是開放式的非接觸光學系統,能夠消除摩擦和磨損,可保證高速、高分辨率的可靠運動。即使在車間環境使用,其**的光學濾波系統也能確保極好的信號穩定性。
所有類型的讀數頭均具有行業標準的模擬或數字信號輸出:模擬信號為 20 μm 的周期,數字信號的分辨率從 5 μm 到 50 nm。所有系統均配有**的內置安裝狀態指示燈,如果安裝正確則綠燈亮。所有型號的讀數頭都有參考零位和/或限位開關。參考零位提供可重復的起始位置,而限位開關則指示行程的終點。RGH22 讀數頭也有雙限位開關選項,在行程的兩端提供各自的信號輸出。
紅外發光二極管把光發射到光柵尺的刻劃面,然后通過透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數頭中。這樣就在讀數頭的檢測面產生了正弦干擾條紋。
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該光學系統采用對 80 條以上的條紋進行均分的技術,有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下,也能確保信號的穩定性。
熱膨脹特性經常是決定整體測量精度的重要因素。RGS20 光柵尺在端部緊固,因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致,無須對不同的膨脹系數進行補償。
獨特的光學設計確保了很小的短周期誤差,周期誤差(即細分誤差)通常小于 ±0.15 μm。線性誤差特性為每 60 毫米 ±0.75 μm,或任意每米 ±3 μm。
RGS20 鍍金鋼帶光柵尺表面涂漆,便于使用和維護。背面自帶不干膠,安裝簡單快捷;對于各種型號的讀數頭,有不同的安裝工具可供選擇。光柵尺成卷供貨,用戶可根據需要任意裁剪,便于庫存管理。
借助專用安裝工具,通過機器軸運動保證**準直,可快速安裝光柵尺。
只要把參考零位、限位開關和端壓塊粘到相應的位置,就可完成安裝。
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特點
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● 高速、可靠的非接觸式特性適用于現今工廠自動化生產對高速度的要求。
● 零磨擦和零機械磨損。
● 開放式光學系統可抵御大多數自動化生產環境中的污染。
● 成卷供貨的光柵尺可被方便地“剪至所需”(*長可達70m),不需儲備不同長度的光柵尺。
● 獲得**的光柵尺安裝器,有助于實現快速簡便的安裝。
● 內置式安裝指示燈:綠燈亮時表示安裝正確;無需示波器或專門的安裝裝置。
● 雙限位開關具有****的指示軸向運動停止點的功能。
● ****的光柵尺與基體的熱匹配。
● 結構緊湊的讀數頭具有集成的內置細分電路,有系列模擬和數字信號輸出,分辨率從5 μ m 到10nm RG2 讀數頭采用的**技術集成了其靈活、用戶友好的特點,同時具有優異的測量性能。****的坐標測量機的制造廠商都信任RG2。在他們的很多機器上都能看到令人熟悉的金黃色條狀光柵尺。
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產品分類
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RGH22
● 緊湊而堅固的外殼
● 工業標準數字和模擬信號輸出
● 內置細分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm,1μm,0.5μm,0.1μm 到50nm
● 參考零位和雙限位開關傳感器
● 高柔性雙屏蔽12 芯電纜或帶狀電纜可選
● 三態低電平報警信號或全報警輸出
● 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
● 也可提供5μm,1μm,0.5μm (RGH26)與Mitsubishi Melservo.-J2-Super 兼容的產品
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RGH24
● 小巧而堅固外殼
● 工業標準數字和模擬信號輸出
● 內置細分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm,1μm,0.5μm,0.2μm,0.1μm 到50nm不等
● 參考零位或單限位開關傳感器
● 高柔性雙屏蔽8芯電纜
● 三態低電平報警信號輸出
● 14.8mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
● 可提供JST連接器
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RGH25
● 超小而堅固外殼
● 工業標準數字和模擬信號輸出
● 外置細分卡和安裝LED指示燈
● 分辨率從5μm,1μm,0.5μm,0.2μm,0.1μm,50nm,20nm和10nm
● 參考零位或單限位開關傳感器
● 高柔性雙屏蔽8芯電纜
● 三態低電平報警信號輸出
● 10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W)
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二、RG4 直線光柵系列
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40 μm 直線光柵-技術
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分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的鋼帶和玻璃光柵尺
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技術指標
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RG4 系統采用的光學技術與 RG2 開放式非接觸光柵系統類似,保留了 RG2 的優點,但也有明顯的區別,增添了一些新的優點。
40 μm 柵距的 RG4 系統具有速度更快、安裝公差更大的特點,入射光的方向使用戶可選用各種類型的光柵尺。
RG4 系列產品有兩種讀數頭。RGH34 是結構緊湊的芯片形讀數頭,通過扁形軟性電纜連接到一個小的 PCB 接口。可輸出工業標準的模擬信號及分辨率從 10 μm 到 0.2 μm 的數字信號。系統中要么包含一個參考零位,要么包含一個限位傳感器,由Renishaw標準勵磁塊觸發。
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RGH41 和 RGH40 讀數頭為完全封裝型號,直接提供模擬信號輸出或分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的數字輸出信號。RGH41 讀數頭用于 RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺,而 RGH40 讀數頭專用于 RGS40-G 玻璃光柵尺。標準配置還包括磁性參考零位和雙限位輸出。以上兩種讀數頭都配有Renishaw**的安裝狀態指示燈。
RG4 使用的光學原理基本與 RG2 相同,不同之處在于,紅外發光二極管發出的光是從與光柵尺刻劃面成 90° 角反射到柵尺方向,而不是平行反射。
指示光柵與 RG2 位置相同,在檢測面產生正弦干擾條紋。
RG4 系列光柵的工作原理允許使用各種光柵尺,如:
1)RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺,表面涂漆,背面帶不干膠。可使用各種專用安裝工具,安裝簡單。
2)傳統的鍍鉻玻璃光柵尺也可用于要求長度較短、無需標定精度的應用場合。Renishaw RGS40-G 光柵尺以確定長度提供,*長可達 1 m。
3)用戶自制的反射式刻劃直線光柵和鋼基體的柱面光柵也可使用各種 RG4 讀數頭。
RG4 讀數頭繼承了 RG2 短周期誤差小的優點,典型周期誤差為 ±0.25 μm。RGS40-S 光柵尺的線性誤差特性僅為每 60 毫米 ±1 μm,任意每米小于 ±3 μm。
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特點
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● 開放式光學系統可抵御大多數自動化生產環境中的污染
● 高速、可靠的非接觸式特性適用于絕大多數工廠自動化生產對高速度的要求
● 零磨擦和零機械磨損
● 寬松的安裝公差使得安裝快速、簡便并且可靠
● LED 安裝指示燈可簡化安裝
● 內置式雙限位開關提供行程終點指示
● 讀數頭及組件有系列輸出供選
● 成卷供貨的光柵尺可被方便地“ 剪至所需”
● 模擬信號具備優越的Lissajous 穩定性
● 某些RG4 讀數頭還能應用于刻劃或是鍍鉻的玻璃光柵上
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產品分類
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RGH41
● 讀RGS40-S金屬尺
● 緊湊而堅固的外殼
● 工業標準數字和模擬信號輸出
● 內置細分電路和安裝狀態指示燈
● 分辨率從10μm,5μm,2μm 到 1μm
● 參考零位和雙限位開關傳感器
● 高柔性雙屏蔽12 芯電纜
● 三態低電平報警信號或全報警輸出
● 17.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
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RGH34
● 讀RGS40-S金屬尺
● 與40μm RESR圓光柵尺兼容
● 極小緊湊型讀數頭單元及PCB式細分電路
● 質量<2g
● 工業標準數字和模擬信號輸出
● 分辨率從10μm,5μm,2μm,1μm,0.4μm 到 0.2μm
● FPC電纜
● 參考零位或單限位開關傳感器
● 三態低電平報警信號或全報警輸出
● 9.50mm×15.0mm×15.0mm (H×L×W) 僅讀數頭尺寸
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三、RESR 圓光柵系列
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Renishaw的高精度圓光柵系統有多種規格的直徑和刻線數供選擇,與標準控制器兼容。它實際上是結構簡潔、在柱面上直接刻線的不銹鋼圓光柵;提供標準設計和低轉動慣量的設計,適用范圍廣泛。
RESR 圓光柵具有內徑大的特點,因此體積輕薄,轉動慣量非常低。這意味著無論何時安裝,回轉軸定位都能達到*小扭矩和*大速度。
另外,由于內徑大,電纜和氣路安裝更為容易。
雖然橫截面很薄,但絲毫不會影響測量精度。采用Renishaw具有**技術的錐面安裝方式,包括錐軸安裝面公差在內的所有安裝公差均可調整到*佳狀態,并可通過簡單有效的精細調整來糾正跳動或橢圓度。
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技術指標
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許多應用都取決于旋轉精度,RENISHAW的圓光柵系列提供了很好的解決方案。其系統精度可達0.7角秒,*高分辨率可達0.01角秒,重復精度可達0.01角秒,速度超過3000rpm。獨特的錐面安裝方式確保安裝快捷,精度高。外徑從52mm到413mm可供選擇。大內徑,低慣量*大限度地滿足了不同用戶的要求。
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RESR(圓光柵)特性
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標稱外徑
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RGH20 數 字 分 辨 率
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系統 精度
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5 um(x4)
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1 um(x20)
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0.5 um(x40)
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0.2 um(x100)
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0.1 um(x200)
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50 nm(x400)
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20 nm(x1000)
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10 nm(x2000)
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標準外徑
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75mm
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≈27.4〞
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≈5.5〞
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≈2.74〞
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≈1.10〞
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≈0.55〞
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≈0.27〞
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≈0.11〞
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≈0.055〞
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±3.9〞
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100mm
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≈20.6〞
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≈4.12〞
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≈2.06〞
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≈0.82〞
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≈0.41〞
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≈0.21〞
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≈0.082〞
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≈0.041〞
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±2.9〞
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150mm
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≈13.7〞
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≈2.75〞
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≈1.37〞
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≈0.55〞
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≈0.27〞
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≈0.14〞
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≈0.055〞
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≈0.027〞
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±1.9〞
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200mm
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≈10.3〞
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≈2.06〞
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≈1.03〞
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≈0.41〞
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≈0.21〞
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≈0.10〞
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≈0.041〞
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≈0.021〞
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±1.4〞
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300mm
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≈6.9〞
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≈1.37〞
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≈0.69〞
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≈0.27〞
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≈0.14〞
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≈0.069〞
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≈0.027〞
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≈0.014〞
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±1.0〞
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350mm
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≈5.9〞
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≈1.18〞
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≈0.59〞
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≈0.24〞
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≈0.12〞
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≈0.059〞
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≈0.024〞
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≈0.012〞
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±0.8〞
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2n(p/r)
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52mm
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32768
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163840
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327600
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819200
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1638400
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3276000
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8192000
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16384000
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±5.6〞
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104mm
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65536
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327680
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655360
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1638400
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3276800
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6553600
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16384000
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32768000
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±2.8〞
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209mm
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131072
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655360
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1310720
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3276800
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6553600
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13107200
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32768000
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65536000
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±1.4〞
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按角度選擇
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57mm
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0.01°
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0.002°
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0.001°
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0.0004°
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0.0002°
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0.0001°
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0.00004°
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0.00002°
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±5.1〞
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115mm
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0.005°
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0.001°
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0.0005°
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0.0002°
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0.0001°
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0.00005°
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0.00002°
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0.00001°
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±2.5〞
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229mm
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0.0025°
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0.0005°
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0.00025°
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0.0001°
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0.00005°
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0.000025°
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0.00001°
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0.000005°
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±1.3〞
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按弧度選擇
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103mm
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20〞
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4〞
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2〞
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0.8〞
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0.4〞
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0.2〞
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0.08〞
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0.04〞
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±2.8〞
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206mm
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10〞
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2〞
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1〞
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0.4〞
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0.2〞
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0.1〞
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0.04〞
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0.02〞
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±1.4〞
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255mm
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8.1〞
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1.62〞
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0.81〞
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0.32〞
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0.162〞
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0.081〞
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0.032〞
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0.0162〞
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±1.1〞
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413mm
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5〞
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1〞
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0.5〞
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0.2〞
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0.1〞
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0.05〞
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0.02〞
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0.01〞
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±0.7〞
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注:光柵尺柵矩為 20 um.
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相關計算公式:
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每轉線數=π*D/(20um/1000)*細分倍數
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角分辨率=360*60*60/每轉脈沖數
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RGH20
● 與20μm 柵距RESR 圓光柵兼容
● 光學濾波系統提供優異的抗污跡能力
● 小巧堅固的外殼
● 工業標準的數字和模擬信號輸出
● 內置細分卡和安裝LED 指示燈
● 分辨率從5μm ,1μm,0.5 μm , 0.1μm,50nm,20nm 到10nm
● 參考零位或單限位開關傳感器
● 高柔性雙屏蔽8 芯電纜
● 三態低電平報警信號或全報警輸出
● 14.8mm(或10.5 mm )×36. 0mm×13.5mm (H×L×W)
● 可選高真空兼容型
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